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HCUシリーズ
靜電チャック専用高圧電源
HCUシリーズは、靜電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることが可能です。
· 靜電チャック専用設計
· ＋、－2出力タイプ
· 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剝離
· RFフィルター內(nèi)蔵
· ローカル、リモート、RS232Cで操作可能
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出 力 |
モデル名 |
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出力電圧 |
出力電流 |
リップル[mVp-p] |
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+500V，-500V |
10mA |
1 |
HCU-0.5PN6 |
|
+1kV，-1kV |
3mA |
1 |
HCU-1PN3 |
|
+1.5kV，-1.5kV |
2mA |
100 |
HCU-1.5PN2 |
|
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公司營業(yè)時間：周一～周五，北京時間【8:30-17:30】
|
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